- 品名： 貝意克磁力拉桿式硫化鉬制備CVD設(shè)備
- 型號(hào)： BTF-1200C-CVD 磁力拉桿
- 產(chǎn)品詳情
- 規(guī)格參數(shù)
此設(shè)備特點(diǎn)是將硫粉放于左端冷區(qū)，當(dāng)硫化過程開始時(shí)利用拉桿式將硫粉推進(jìn)熱場(chǎng)?？刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡(jiǎn)單易操作。同樣也適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)
 | 爐管尺寸： | 外徑Φ25/50/60/80/100*1000mm（可選） |
極限溫度： | 1200℃ | |
工作溫度： | ≤1100 ℃ | |
溫度控制器： | PID自動(dòng)控制晶閘管（可控硅）輸出功率， 30段可編程控制器 | |
升溫速率： | ≤50℃/min | |
加熱區(qū)： | 200+200mm | |
恒溫區(qū)： | 100+100mm | |
控溫精度： | ±1 ℃ | |
電源： | 單相220V，交流50Hz | |
3路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng) （觸摸屏控制）
| **電壓： | 185~245V/50Hz |
**輸出功率： | 18W | |
流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程： | 100 ，200，500SCCM （非特殊指定以氮?dú)鈽?biāo)定，量程可選定） | |
工作溫度： | 5~45 oC | |
工作壓差： | 0.1～0.5 MPa | |
**壓力： | 3MPa | |
準(zhǔn)確度： | ±1.5% FS | |
低真空系統(tǒng)
| 抽速： | 8.11 m3/h |
極限總壓： | 3×10-3 mabr | |
進(jìn)排氣口： | DN 25 KF | |
噪音 （氣鎮(zhèn)開關(guān)時(shí)，距離1米處測(cè)量） | 54 dB | |
注油量： | 0.7- 1.1 L | |
重量： | 21 Kg | |
工作溫度： | 10~40 ℃ | |
功率： | 550W |
